دانشگاه آزاد اسلامی تهران غرب فعالیت خود را از ۱۲ بهمن ۱۳۷۳ به عنوان مؤسسه فنی و آموزش عالی سما وابسته به دانشگاه آزاد اسلامی با جذب دانشجو به صورت تمام وقت در رشته کاربرد کامپیوتر در مقطع کاردانی ناپیوسته آغاز کرد. در سال ۱۳۸۷ با افزایش دانشجو در مقطع کاردانی و کارشناسی به واحد تهران سما تغییر نام داد. در سال ۱۳۸۲ آموزشکده فنی و حرفه‌ای دخترانه تهران سما و در سال ۱۳۸۳ آموزشکده فنی و حرفه‌ای پسرانه تهران سما با ظرفیت جذب دانشجو در مقطع کاردانی ناپیوسته به عنوان زیر مجموعه‌ای از این واحد دانشگاهی راه اندازی شدند. در نهایت در سال ۱۳۸۵ واحد تهران سما از سازمان سما جدا شده و به عنوان زیر مجموعه‌ای از واحدهای دانشگاهی آزاد اسلامی فعالیت خود را ادامه و در سال ۱۳۸۶ به طور رسمی به دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران غرب تغییر نام داد.
